半導(dǎo)體工業(yè)用石墨制品有較低灰分、高純的性能要求，一般需要用到高純石墨，經(jīng)過(guò)純化工序可以達(dá)到5~50ppm，在半導(dǎo)體工業(yè)中，高純石墨主要是作為加熱系統(tǒng)、保溫罩、電極等存在，采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫、耐腐蝕這一特點(diǎn)。 高純度石墨根據(jù)均勻細(xì)顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料，對(duì)離子、等離子具有較強(qiáng)的抗轟擊能力和很強(qiáng)的抗腐蝕性，純度高沒(méi)有金屬離 子不會(huì)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)生污染。
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